四激光束干涉光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

四激光束干涉光刻相关论文

四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析

为提供一个在大范围内曝光出深亚微米甚至纳米级周期性密集图形的廉价的方法,研究了四激光束干涉光刻的原理,分析了干涉曝光的结果......

期刊

纳米级孔阵四激光束干涉光刻微细加工光学技术干涉曝光计算机模拟半导体制造业 Lithography Laser interference Inter

看过本文同时还关注