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四足致动相关论文
四足致动型三自由度压电驱动器及其运动特性研究
多自由度超精密驱动与定位技术是超精密制造、机器人、光学仪器和生命科学等领域的一项共性支撑技术,已成为高端装备向高精尖方向......
学位
压电驱动
四足致动
三自由度
跨尺度
运动特性
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