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水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅钝化特性研究
该文主要研究水掺杂对臭氧基原子层沉积二氧化硅薄膜的影响.通过在臭氧中掺杂少量水作为混合氧化剂,有效降低了原子层沉积二氧化硅......
期刊
原子层沉积
氧化硅
硅太阳电池
表面钝化
固定正电荷
注氧隔离SOI材料的抗总剂量辐照加固
SOI (Silicon On Insulator)即绝缘体上的硅,是一种新型的硅基材料。用SOI材料制作的器件与电路相对于传统的体硅器件及电路而言,......
学位
SIMOX
埋氧层
注氮
辐照加固
固定正电荷
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