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固态压阻平膜芯片相关论文
特种压阻式加速度传感器的研制
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精......
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微型机械电子系统
固态压阻平膜芯片
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加速度传感器
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