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硬脆晶体薄基片研磨加工面形分析与试验研究
随着科学技术的发展,对激光晶体、工程陶瓷、石英晶体等硬脆晶体薄基片的面形精度及表面质量要求越来越高。以激光技术为例,激光技术......
学位
硬脆晶体薄基片
研磨加工
固持方式
面形分析
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