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固结磨粒抛光垫相关论文
自退让性固结磨粒抛光垫的研制
随着信息化快速发展,半导体材料在消费电子、光伏照明系统、通信系统、医疗仪器、新能源等领域有广泛的应用,半导体革命正在不断前......
学位
化学机械抛光
6H-SiC单晶基片
自退让性
固结磨粒抛光垫
固化工艺
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