2001《国际半导体技术指南（ITRS）》规划出半导体技术未来15年内的发展。它主要强调芯片特片尺寸的进一步缩小，2001年0．13μm，2004年90nm......

我国第一根直径18英寸(450毫米)直拉硅单晶日前在北京有色金属研究总院研制成功,这标志着我国大直径硅单晶研究进入世界领先行列。......