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原子层沉积复形性在光学薄膜中的应用
原子层沉积(ALD)通过连续的饱和表面自限制反应沉积成膜,比传统光学薄膜制备技术具有更好的复形性,能有效解决复杂形貌表面沉积高......
学位
原子层沉积
复形性
光学薄膜
半球透镜
圆筒内壁
多孔结构
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