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大气压介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究
等离子体具有利用电子、原子、离子、激发态分子等进行纳米结构组装或刻蚀的特点,在纳米技术一兴起就起着重要作用。它是晶态纳米......
学位
氟碳化合物纳米晶
圆筒状介质
阻挡放电装置
聚合沉积
放电模拟
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