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均匀渐变氮化铝镓插入层相关论文
高质量GaN基材料外延生长工艺及其光电特性研究
本论文主要分为两大部分:第一部分是以蓝宝石(Al2O3)为衬底通过小面控制侧向外延生长技术(FC-ELOG)形成半极性(11-22)氮化镓(GaN)小......
学位
金属有机物化学气相沉积
半极性氮化镓
小面控制侧向外延生长波长剪裁和多色发光
均匀渐变氮化铝镓插入层
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