垂直扫描白光干涉相关论文
研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心......
随着表面测量技术的发展,表面的三维测量和评定已经成为研究的重点。接触式和光学探针式测量仪器大多是逐点扫描,在三维表面测量的......
