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基底预应力相关论文
基底预应力状态下薄膜应力的有限元分析
薄膜应力是影响光学元器件甚至整个光学系统性能及可靠性的重要因素。薄膜应力过大会明显地改变薄膜的机械性能,引起其基底弯曲,导致......
学位
薄膜
基底预应力
有限元分析
自重变形
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