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SiC薄膜红外及紫外-可见光谱的研究
报道了在单晶Si衬底上采用RF磁控溅射技术异质外延生长SiC薄膜的研究.由傅立叶红外谱用双声子组合法计算出SiC的基本声子能量是TO=......
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SiC
傅立叶红外吸收谱
紫外-可见光谱
基本声子组合
SiC films
Fourier infrared spectrum
UV-Vis spectrum
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