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基片转速相关论文
(Cr,Si)/GLC薄膜的溅射制备工艺及结构性能的研究
利用闭合场非平衡磁控溅射方法,以不同的Si靶电流(Isi)和基片转速(ωs)在高速钢/单晶硅基片上制备出(Cr,Si)/GLC薄膜。其多层结构与Cr/G......
学位
石墨薄膜
Si靶电流
基片转速
复合掺杂
热氧化
制备工艺
结构性能
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