复合V型梁电热硅微致动器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

复合V型梁电热硅微致动器相关论文

硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究

作为动力源的微致动器是微型机电系统(MEMS)的重要组成部分之一，承担着MEMS中能量转换、运动和力的产生等功能，其位移与力的输出能力......

学位

微型机电系统单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器复合V型梁电热硅微致动器微直线马达纳米致动器

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