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多元素测试仪测定二氯硅烷中的痕量磷
二氯硅烷的沸点只有8.3℃,常温下呈气体状态,用常规的方法取样和检测难度很大.我们用高温富氢还原的方法,使二氯硅烷中的磷还原为PH3,用......
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二氯硅烷
磷
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多元素测试仪
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