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多晶硅清洗设备研究
介绍了多晶硅清洗设备,即:硅块、硅棒/硅芯清洗设备。并对其结构设计进行阐述。对设备关键部件-工艺槽、机械臂的设计进行了详细的说......
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多晶硅清洗
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Polysilicon etching
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