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采用磁控溅射法,在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜,研究了衬底温度和Ar气流量对ZnS薄膜质量的影响.利用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度,......
采用磁控溅射法，在玻璃衬底上沉积了ZnS多晶薄膜，研究了衬底温度和Ar气流量对ZnS薄膜质量的影响．利用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度，计算......
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