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基于纳米划痕仪的单晶锗多次刻划力学特性实验
为深入理解单晶锗的纳米切削特性,提高纳米锗器件的光学表面质量,使用纳米划痕仪对单晶锗进行多次刻划实验研究,并测得其在刻划过......
期刊
单晶锗
多次刻划
切削力
弹性模量
single crystal germanium
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