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多步热退火相关论文

非掺半绝缘GaAs晶片多步热退火的机理研究

该文利用wenzi的GaAs缺陷模型研究了在晶片多步热退火的高温退火段中，Ga1-As固溶体化学计量比偏离度（S=1-2x）对晶体气固相平衡的影响......

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非掺半绝缘晶片多步热退火化学计量比解压偏离度杂质缺陷模型浓度晶体固相平衡高温退火计算表固溶体固溶区

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