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多端口探测自相干仪相关论文

应用自差法测量物体表面粗糙度的研究

本文研究了以He-Ne激光器为光源用以测量物体表面粗糙度的多端口探测自相干仪,它测量信号光与参考光的相位差而不受被测物体表面反......

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表面粗糙度测量方法自差法多端口探测自相干仪相位差 HE-NE激光器 He-Ne laser Measurement Multiport homody

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