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多维微机械传感相关论文
基于光子晶体微腔的传感器性能分析
由介电常数周期性变化材料构成的光子晶体作为一种新型的光电材料,具有良好的光子局域、超小体积、易于集成等特性。利用光子晶体......
学位
光子晶体
点缺陷微腔
耦合波导
多维微机械传感
串并联集成
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