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多能量域建模相关论文
磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究
微致动器(Microactuator)是MEMS实现物理功能的关键器件,是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中,先进的CAD系统已有效地用于集成电路的......
学位
MEMS
微致动器
多能量域建模
器件级仿真
有限元分析
电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究
微致动器(Microactuator)是微机电系统(MEMS)实现物理功能的关键器件,是MEMS应用研究中的热点。在IC工业中,先进的CAD系统己有效地......
学位
微机电系统
电热微致动器
多能量域建模
有限元仿真
微机械动力学
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