大尺寸硅片超精密磨床相关论文
集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，全球90%以上的集成电路衬底材料都采用硅片。随着集成电路制造技术的飞速发展，为了增大硅......
学位
集成电路(IC, Integrated Circuit)产业已经成为世界经济发展的基础，相应的IC制造装备也成为高技术装备产业支撑。大尺寸硅片超精密......
