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大束流离子注入机能量污染的研究
能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染,产生的原因及降低能......
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大束流
离子注入机
能量污染
半导体器件
Large beam ion implanterEnergy contamination
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