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大角度扭转微镜相关论文
大角度扭转微镜的静态特性分析
大角度扭转微镜是一种静电驱动的MEMS微致动器。微镜的大角度扭转会引起极板间电场分布的显著变化,使得极外电场的对微镜的影响变......
期刊
大角度扭转微镜
静态特性
耦合
large angular deformation torsional micromirror static analysis
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