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大面积衍射光学元件相关论文
弯月面涂胶均匀性改进
针对大面积衍射光学元件制作过程中对光刻胶均匀涂覆的困难,研究弯月面均匀涂胶方法。利用沟槽型弯月面涂胶机,分析影响光刻胶厚度和......
期刊
弯月面涂胶
大面积衍射光学元件
光刻胶均匀涂覆
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