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太阳级多晶硅相关论文

电子束炉熔炼多晶硅除硼和铁杂质的研究

为去除多晶硅中的B和Fe元素,人们必须对硅原料进行高温增氧预处理,在熔炼坩埚中敷设两块叠放的高纯Si C板,对其进行电子束炉熔炼提......

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太阳级多晶硅电子束炉除硼除铁真空熔炼 solar grade polysilicon electron beam furnace boron rem

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