太阳能级n型硅片相关硕士博士期刊学术论文

研究了优等化离子体化气相学沉积法（PECVD）在太阳能级n型直拉单晶（Cz）硅衬底上沉积i-a-Si：H薄膜工艺，得到较好的钝化效果。分析了气体流......