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子孔径拼接干涉计测相关论文
大口径光学平面面形平行光管子孔径拼接测量技术
为了实现对超大口径平面反射镜面形的精确测量,提出了平行光管子孔径拼接干涉计测方法。分析了利用平行光管拼接检测超大口径光学反......
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