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为了解决大口径大偏离量非球面高精度检测问题, 提出子孔径拼接与补偿器混合补偿检测模型。在被检测非球面镜面形精度未达到干涉仪......
目前检测大口径光学系统质量不仅难度大,而且制造周期长,制造成本高。因此,用小口径、高精度、高分辨率的干涉仪来复原大口径光学......