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微电子产品高质量高产能的制造，取决于关键机构的高精度定位与高加速度运动的二者兼顾，高速高精度大行程定位平台是微电子产品和超高......
提出了一种基于宏微运动机器人的焊缝跟踪方法.首先,通过若干点的简单示教获得焊缝位置信息,并通过拟合建立焊缝模型.在该模型的基......
光学探测设备在载体飞行过程中对目标进行大范围的扫描凝视运动,由于目标范围大,探测器分辨率高、视场小,因此光学探测设备扫描频......
IC制造业的高速发展以及它在国家发展中的重要性要求我们努力发展大行程、高速度和高精度的定位技术。随着传统驱动方式再也无法满......
在惯性约束核聚变（ICF）实验中，传感器的高精度定位是实现准确打靶的关键因素。文章提出了宏微结构的机器人系统，采用宏一微运动结合的......
