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考虑填充哑元的有效三维互连电容提取与分析
向集成电路版图中填充金属哑元(dummy)可减少化学-机械抛光所产生的介质厚度差异,同时它也给传统的寄生电容提取工具带来性能上的......
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寄生电容提取
悬浮金属哑元
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