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富碳氢化非晶碳化硅薄膜相关论文
氮掺杂非晶碳及非晶碳纳米团簇薄膜微观结构和光学性能的研究
近年来,碳基材料一直是国内乃至国际上的一个研究热点。其中非晶碳(a-C)薄膜的应用尤为广泛,人们对非晶碳薄膜的研究进行了很多年,......
学位
氢化非晶碳薄膜
掺氮非晶碳薄膜
富碳氢化非晶碳化硅薄膜
PECVD
微观结构
光学性能
碳纳米团簇
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