采用N~+离子注入的方法 ,对气—固化学反应生成的CuxS薄膜进行了掺杂 ,研究了N+离子注入能量和剂量对Cu_xS薄膜组分的影响。结果表......

采用Ｎ＾＋离子注入的方法，对气－固化学 反应生成的ＣｕｘＳ薄膜进行了掺杂，研究了Ｎ＾＋离子注入能量和剂量对ＣｕｘＳ薄膜组分的影响。结果表明，离子注入改变了ＣｕｘＳ薄......