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用于晶圆对位标记识别的模板匹配算法研究
针对半导体封装设备精确识别晶圆对位标记的需求,研究了两类基于机器视觉的模板匹配算法,包括基于区域相关和基于特征的匹配算法。......
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Semiconductor packaging equipmentAlignment markersMachine
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