对准标记相关论文
多层通道微流控芯片加工中套刻光刻的对准操作难度较大,结合使用两种对准方法并分步进行实验操作可以降低难度:使用圆套十字架对准......
期刊
电子束直写是深亚微米加工技术的重要手段,但是由于电子散射、背散射现象的存在以及电子束高精度扫描成像曝光低效率的问题影响了......
电子束光刻技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术之一,尤其在百纳米到纳米加工领域的科研和开发中,电子束光刻......
扫描电镜是一种能够对表面微观世界进行全面分析的多功能的电子光学仪器.广泛应用于现代生物学、医学、地质学、材料科学和半导体......
2.吊臂变幅马达的分解与组装(1)分解参见图27,吊臂变幅马达的分解程序如下。①将吊臂变幅马达放在工作台上,从壳体18中拆下塞子16,......
正时齿轮包括曲轴齿轮、凸轮轴正时齿轮和喷油泵驱动齿轮。一般正时齿轮端面上都打有装配标记,安装时必须对准标记。但如果正时齿......
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工作台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择。...
作为微细加工技术之一的高分辨率光刻技术--同步辐射X射线光刻(XRL)可应用于100nm及100nm节点以下分辨率光刻,高精度对准技术对XRL......
套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法 ,举例说明了众多对准标记在实际掩模版上......
集成电路工艺节点的持续缩小对光刻机的套刻精度提出了越来越高的要求,而掩模与硅片位置对准精度是保证套刻精度的关键。对于10nm......
<正> 每一代新的半导体芯片都具有更精细的结构。因此,生产线通常也就需要更新的光刻设备。为组建经济实用的生产线,就必须考虑几......
介绍了双面光刻对准原理及技术新发展，表明了不变焦对准的技术优势。针对玻璃基片设计了十字加方框的对准图样，经重新调焦，利用基片透......
现代光学和IC产业的发展要求光学器件的微型化、阵列化和集中化，从而产生了微光学技术。微光学技术是光学与微电子学、微机械学相结......
主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择
Mainly discusses the alignment of the bott......
