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封装残余应力相关论文
一种用于MEMS超低值封装残余应力的测量方法
微机电系统(MEMS)封装残余应力是在封装工艺过程中芯片上产生的残余应力,它对于MEMS器件的热稳定性和长期贮存稳定性有着十分重大......
期刊
微机电系统(MEMS)
封装残余应力
应力测量
显微拉曼光谱
在片应力放大结构
Micro-Electro-Mechanical Systempackage r
封装残余应力对MEMS微加速度计长期性能稳定性影响机理研究
MEMS封装残余应力是在封装工艺过程中由于材料热失配而在芯片上产生的残余应力,它对于高精度MEMS微加速度计的可靠性和长期贮存稳......
学位
电容式微加速度计
封装残余应力
长期稳定性
应力测量
粘接胶
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