射频(RF)反应溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

射频(RF)反应溅射相关论文

用于太阳电池吸收层CuInS2薄膜的RF反应溅射制备及其表征

该文报道采用射频反应溅射技术,以铜银合金为靶材、H2S为反应气体,在Soda-Lime玻璃衬底上沉积高质量CuInS2薄膜的实验结果.分别运......

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CulnS2薄膜射频(RF)反应溅射太阳电池 CuInS_2 thin films RF reactive sputter solar cells

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