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射频功率占比对氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
本研究主要利用射频耦合直流磁控溅射技术,在室温下用TiO2陶瓷靶在玻璃基底上制备N掺杂到TiO2薄膜。同时也利用光学轮廓仪、X射线......
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TiO2薄膜
射频功率占比
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