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为了在细长管内壁获得质地均匀的Cu膜层，实验采用了射频耦合直流空心阴极放电的方法，研究在长度200 mm，内径6～12 mm的细长管内沉积Cu薄......
为了对高电流下的容性耦合射频(CCRF)放电有清晰的了解,我们建立了CCRF放电的自洽模型,研究了CCRF放电的放电特性和从低电流向高电......
一台13.56MHzISM(工业、科学和医疗)频段射频测量设备要求进行50小时1kw老化测试.被测设备需要同时加上等效于1 kw的射频电压和射......
文中提出一个FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,系统由信号发生器、高速开关、高压直流电源、高通滤波、补偿电压自动扫......
研究了射频电压的大小、占空比的改变对高场不对称波形离子迁移谱（FAIMS）热量的影响．随着射频电压增大，FAIMS的迁移管产生的热量绝对值......
目的分析同旋加速器存beamon（运行状态）过程中出现的两个典型故障的原因．总结排查和解决故障的经验。方法根据故障检测软件提示初步判......
Si C光学材料具有高化学稳定性,其在普通的等离子体加工中难以获得较高的加工效率。在等离子体加工实验中,发现提高等离子体的自身......
离子漏斗的发明和应用,使发展更高灵敏度的质谱分析仪器成为可能。离子漏斗最初由R.D.Smith等人[1]根据射频环中离子运动的原理发......
用CFD-ACE＋和CFD-TOPO分别对容性耦合等离子体反应腔室放电和等离子硅刻蚀过程进行仿真,讨论不同射频电压和腔室条件对等离子体特性......
