射频PCVD 相关硕士博士期刊学术论文

研究了在不同基体上用射频ＰＣＶＤ方法沉积的ＢＮ膜结果表明，镀层中的Ｃ-ＢＮ含量、残余应力、镀层硬度基本上不受基体种类的影响，但沉积速度、膜基......