射频PECVD 相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

射频PECVD相关论文

利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究

本文采用射频PECVD方法,以C4H10(或CH4)和Ar为气源在不锈钢、玻璃和硅片等基底上制备出大面积类金刚石薄膜。使用扫描电子显微镜(S......

学位

射频PECVD 类金刚石膜不锈钢中间过渡层摩擦磨损

利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究

本文采用射频PECVD方法,以CH4和Ar为气源在不锈钢、模具钢Cr12钢、树脂材料PMMA等基底上制备出类金刚石(DLC)薄膜。使用扫描电子显......

学位

射频PECVD 类金刚石膜中间过渡层摩擦学特性光学性能

看过本文同时还关注