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基于SOI衬底和外延衬底的高速光电探测器研究
高速硅基光电探测器价格低廉且易于和光接收机集成,在短距离光通信中被广泛应用。对基于绝缘硅(SOI)和外延(EPI)两种不同衬底的互......
期刊
光电探测器
SOI/EPI衬底
互补金属氧化物工艺
小信号带宽
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