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本文论述了为研制液体火箭发动机关键件-层板喷注器而采用的光刻工艺技术.本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻......
介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则，该项技术已成功......
为了对液体火箭发动机新型喷注器进行研究，设计了一种结构、多组不同设计尺寸的溅板型层板喷注单元，以水为介质，利用Malvern激光粒度......
为适应小推力发动机无毒、无污染、高性能、低成本的发展趋势,设计了一种以气氧(GO2)/丙烷(C3H8)为推进剂的发动机.采用层板式头部......
