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用球面共焦Fabry—Perot干涉仪测量微振动
介绍一种光学非接触测量超微振动的方法,利用球面共焦Fabry-Perot干涉仪设计了微振动测量系统.与传统的测量方法相比,该系统具有非......
期刊
球面共焦Fabry-Perot干涉仪
微振动
稳腔长
非接触测量
测量系统
工人原理
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