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摆臂式轮廓仪工件转台误差分离技术研究
随着大型光学系统在天文观测、空间目标识别等领域的应用越来越广泛,大型光学镜面的加工和检测面临着很大的挑战。传统的面形检测工......
学位
摆臂式轮廓仪
工件转台
误差分离
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