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工作平晶相关论文
工作平晶平面度测量不确定度评定
本文对JJG28-2000<平晶>中以等厚干涉法检定工作平晶(D30mm~100mm)平面度的方法进行了分析、评定,得出了平面度的测量结果不确定度.......
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工作平晶
平面度
等厚干涉法
不确定度
行业标准
评定
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