工艺空间均匀性相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

工艺空间均匀性相关论文

利用分步试验设计表征／优化工艺空间均匀性

半导体制造工艺成品率对空间差异越来越敏感，需要表征与优化工艺空间均匀性。利用两步试验设计方法，针对六输入变量的热氧化工艺，仅需......

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半导体工艺工艺空间均匀性分步试验设计响应曲面模型 Semiconductor process Process spatial uniformity S

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