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带孔的铜底板相关论文
工业化硅微机械电容式麦克风的设计与性能计算
给出了一种单芯片硅微机械电容式麦克风的结构设计,并针对此结构对其进行了动态特性分析计算。硅微机械电容式麦克风的两个电极由......
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